אפלייד מטיריאלס משיקה את מערכת ה-SEMVision G7 החדשה בעלת יכולות תמונה משופרות ולימוד מכונה

יכולות המערכת החדשה, המפותחת ומיוצרת במרכז החברה בישראל, משפרות את התפוקה בתהליך ייצור מעבדים ושבבי זיכרון

מערכת SEMVision G7 החדשה של אפלייד היא כלי ה-DR-SEM (כלי בקרה ואנליזת פגמים מבוסס מיקרוסקופ אלקטרונים Defect Review SEM) היחיד המשלב את היכולת להפיק תמונות של הפגמים ברזולוציה גבוהה עם יכולת סיווג מבוססת Machine Learning מוכחת – יכולת זו מאפשרת ליצרני השבבים סיווג מהיר של הפגמים, זיהוי הגורמים להם ובכך מסייעים לפתור בעיות תפוקה ולשפר את תהלך הייצור.

"ככל שתכנון השבבים נעשה מתקדם ומורכב יותר, כך גם אתגרי הייצור. יצרני השבבים מחפשים דרכים לקצר את משך הזמן עד לייצוב הייצור והשגת תפוקה אופטימלית, אמר עופר גרינברגר, סגן נשיא ומנהל חטיבת Process Diagnostics and Control באפלייד מטיריאלס. "מערכת SEMVision G7 מרחיבה את יכולת הדימות של אפלייד ומאתרת פגמים קריטיים החשובים ליצרנים, לרבות בשולי פרוסות הסיליקון (Wafer), אזורים שבהם פגמים שלא אותרו עלולים לפגום בתפוקת השבב. באמצעות אלגוריתמים חדשים שלMachine Learning, פגמים מסווגים ומנותחים בזמן אמת, כך שניתן להבטיח בקרת תהליך מדויקת ועקבית והגעה לתהליך ייצור יציב."

מלבד יכולות דימות ייחודיות בחוד פרוסת הסיליקון ובשוליה, מציעה מערכת ה-SEMVision G7 מקור אור משופר יחד עם מנגנון איסוף, המאפשרים איתור פגמים שגודלם עד ל-18 ננומטר בפרוסות סיליקון חלקות או שעברו תהליך כיסוי אחיד. זיהוי ואיפיון הפגמים על פרוסות הסיליקון החלקות מספק ליצרני שבבים מידע המסייע בקביעת מקור הפגם, והודות לכך האצת פתרון הבעיה.
טכנולוגיית סיווג הפגמים האוטומטית Purity™ II, המבוססת על מערכת Purity™ ADC, היחידה בתעשייה שהוכחה בסביבת ייצור, מרחיבה את יכולות ה- Machine Learning של SEMVision G7 ומאפשרת לה ללמוד שינויים בתהליך ולהתאים במהירות ובאוטומטיות את מנוע הסיווג הסטטיסטי. יכולת Machine Learning חדשה, משלבת נתוני תכנון הנדסיים עם תמונות SEM על מנת להפיק סיווג מבוסס-מיקום של הפגם ואנליזה מדויקת יותר מבחינה קונטקסטואלית – יכולת זו מאיצה את ניתוח הגורמים לפגם. אלגוריתם חדש לחילוץ פגמים קריטיים, מתעדף מיון של פגמים שהוגדרו מראש במנוע הסיווג על מנת להבטיח שהפגמים החשובים והמעניינים ביותר יודגשו וייוצגו בעדיפות גבוהה. הודות ליכולות ניתוח מהיר, מדויק ואוטומטי של הפגמים באמצעות בינת Machine Learning, מערכת סיווג הפגמים האוטומטית Purity II ADC מאפשרת ייצוב מהיר של תהליכי ייצור וניהול תפוקה הדוק יותר.