אפלייד מטריאלס ישראל מציגה מערכת לבקרת איכות הייצור של פרוסות סיליקון בעזרת לייזר אולטרא-סגול עמוק

מערכת הבדיקות החדשה,Inspection  Applied DFinder, שפותחה בישראל, היא כלי הבדיקה הראשון בעולם העושה שימוש בלייזר בטווח אור אולטרה סגול עמוק (DUV) במכונות מסוג Darkfield

חברת אפלייד מטריאלס מציגה פריצת דרך טכנולוגית בתחום בדיקת השכבות ברכיבי זיכרון ושבבים לוגיים, המיוצרים בטכנולוגיה של 22 ננו-מטר (0.022 מיקרון). מערכת הבדיקות החדשה,Inspection  Applied DFinder, שפותחה בישראל, היא כלי הבדיקה הראשון בעולם העושה שימוש בלייזר בטווח אור אולטרה סגול עמוק (DUV) במכונות מסוג Darkfield. המערכת משתמשת בלייזר DUV על מנת לספק ליצרני השבבים יכולת חסרת תקדים לגילוי חלקיקים קטנים במיוחד על פרוסות סיליקון מודפסות תוך תהליך הייצור, להבטחת תפוקה גבוהה יותר. העלות הכוללת של הפעלת מערכות DFinder נמוכה כמעט ב- 40% ממערכות מתחרות בשוק. העלות הנמוכה משמעותית במיוחד עבור יצרני השבבים, המפעילים לעתים 50 שלבי בדיקות נפרדים לאורך תהליך הייצור.

הטכנולוגיה הייחודית של תאורת הלייזר האולטרא-סגול עמוק של DFinder מאפשרת לאבחן את כל החלקיקים הבלתי רצויים המשפיעים על צמתי-מוליכים ב- 22 ננו-מטר, על גבי פרוסת הסיליקון, עד לגודל של 40 ננומטר, ומציעה שיפור של 30% בביצועים בהשוואה למערכות אחרות הזמינות כיום בשוק. מערכת בקרת הקיטוב (פולריזציה) הייחודית למכונה החדשה, הפועלת בזוויות נמוכות במיוחד, יודעת לבודד את החלקיקים הזרים על פרוסות הסיליקון המודפסות, ומאפשרת למערכת להקטין את מספר התראות השווא.

לדברי רונן בנציון, מנכ"ל אפלייד מטריאלס ישראל "מערכת DFinder נוצרה במיוחד על מנת לאבחן חלקיקים קטנים במיוחד לטכנולוגיית השבבים המתקדמת ביותר, והלקוחות מביעים התלהבות לנוכח הטכנולוגיה החדשה". בנציון מדווח כי אפלייד מכרה כבר מספר מערכות כאלה, ומחזיקה בהזמנות חוזרות ממפעלי שבבים ויצרני זיכרונות, לקראת המעבר ליצור המוני.

כמעט כל שבב מבוסס נחושת המייוצר היום, מיוצר בעזרת ציוד של אפלייד מטיריאלס, הכולל בנוסף למכונת הבדיקה גם מכונות איכול (Etch) והנחת שכבות דקות (Deposition), כמו גם תוכנת אוטומציה מתקדמת לאופטימיזציה של ייעילות ותוצרת מפעלי הייצור. עם הצגת מערכות DFinder, אפלייד מטיריאלס היא כיום הספק היחיד בשוק המציע סל מקיף של פתרונות לבקרת איכות תהליך ייצור השבבים, הנשענים כולם על טכנולוגיית DUV.

אפלייד מטריאלס היא מובילה כלל-עולמית בתחום הציוד, השירותים וכלי התוכנה ליצרני מוליכים למחצה, צגים שטוחים ומוצרים פוטו-וולטאיים. הטכנולוגיה של אפלייד מטריאלס משמשת לייצור מוצרים חדשניים דוגמת טלפונים סלולאריים חכמים,  מסכי טלוויזיה וצגים שטוחים כמו גם פאנלים סולאריים, בתהליכים יעילים יותר המאפשרים להבטיח את זמינותם במחירים אטרקטיביים ליצרנים ולעסקים בכל העולם.