אפלייד מטיריאלס, פיתחה בישראל טכנולוגיה לסריקה תלת ממדית של שבבים

אפלייד מטיריאלס  ספקית פתרונות ייצור לתעשיות המוליכים למחצה, צגים ומערכות סולאריות חושפת פיתוח של טכנולוגיה ישראלית פורצת-דרך בתחומה למדידה תלת-ממדית של שבבים.

ה-VeritySEM5i הינו מיקרוסקופ האלקטרונים (Critical Dimension Scanning Electron Microscope) הראשון בתעשייה  למדידה סדרתית של התקני תלת-ממד מתקדמים. הוא מסוגל למדוד תוך כדי ייצור (in line) ומצליח לגבור על האתגרים של מדידת יחס גובה-רוחב ומאפיינים מורכבים בהתקני NAND ו-FinFET תלת-ממדיים.

המיקרוסקופ החדש של אפלייד מטיריאלס עושה שימוש בטכנולוגיה מתוחכמת להפקת תמונות בהפרדה גבוהה ואיסוף אלקטרונים מפיזור אחורי (Back Scattered Electrons-BSE), המאפשרת בקרה ברמה יוצאת דופן של הממד הקריטי תוך כדי ייצור. שימוש ב- VeritySEM™5i מאיץ את תהליכי הפיתוח והייצור אצל יצרני השבבים, משפר את ביצועי ההתקנים ומוביל לייצור בתפוקה גבוהה.

איתי רוזנפלד, סגן נשיא תאגידי ומנכ"ל אפלייד מטיריאלס ישראל מסביר: "מבנים תלת-ממדיים מורכבים מצריכים ממדי מדידה חדשים, עובדה המגדילה את הדרישות מטכנולוגיות המדידה (מטרולוגיה). לא ניתן עוד להמשיך ולהסתמך על טכניקות סריקות ממדים קריטיים (CD SEM) מסורתיות בכדי למדוד התקנים תלת-ממדיים. הודות לחידושים בתחום הדימות (imaging) המבוססים על המומחיות של אפלייד בטכנולוגיה מתקדמת של קרן אלקטרונים ועיבוד תמונה עבור מדידת CD SEM מהירה ומדויקת של ההתקן, לקוחותינו יכולים לראות, למדוד ולנטר את ההתקן התלת ממדי תוך כדי שלב המחקר ופיתוח, תחילת הייצור והמעבר לייצור המוני. לקוחות המשתמשים בכלי זה כבר נהנים מתפוקות משופרות בייצור התקני התלת-ממד החדשים האלה. המערכת הזו תמשיך ותציב את הרף לכלל התעשייה משום שיצרני השבבים זקוקים ליכולות חדשות ומדויקות של הנדסת חומרים בכדי לעבור לארכיטקטורות תלת ממדיות ולהמשיך להתקדם מעבר לקו ה-10 ננומטר".

החידושים ברמת הדיוק המטרולוגית דרושים כדי לשפר את ביצועי ההתקנים, לצמצם את השונוּת ולהגדיל את התפוקות של התקני התלת-ממד, הנעשים מורכבים, עתירי ביצועים וצפופים יותר עם כל שלב בפיתוח.