אפלייד מטיריאלס משיקה כלי בדיקה ברזולוציה של ננומטר אחד שפותח בישראל

עסקי הליבה של החברה – המשמשים לניטור וניהול תעבורת היישומים באינטרנט (DPI) נקלעו להאטה, שגרמה לה לעבור ב-2015 להפסד נקי, שנמשך גם ברבעון הראשון.

אפלייד מטיריאלס הודיעה על השקת הדור הבא של מערכת הבדיקה ((inspection בטכנולוגיית e-beam, המספקת את הרזולוציה ואיכות התמונה הגבוהות ביותר ומאפשרת את מהירות הבדיקה הגבוהה ביותר ללקוחות מובילים העוסקים בייצור שבבים (logic DRAM ו-3D NAND) עם המעבר שלהם לטכנולוגיות ייצור מתקדמות יותר.

מערכת ה- PROVision של אפלייד היא כלי הבדיקה המתקדם ביותר בתעשייה בפלח השוק האמור והיא משלבת חידושים המבוססים על יותר מ-20 שנה של מומחיות בטכנולוגיית e-beam לבדיקה ומדידה (מטרולוגיה). זהו גם כלי הבדיקה (inspection) מבוסס e-beam היחיד שמציע רזולוציה של עד 1 ננומטר, המאפשר ללקוחות לאתר את הפגמים הזעירים ביותר אשר יכולים “להרוג” את השבב, שמערכות אחרות אינן יכולות למצוא, ולנטר תופעות הקשורות למרווחי ייצור הדוקים. זאת על מנת לפתור במהירות בעיות הקשורות למעבר לייצור המוני ולהשגת האיכות והיעילות הגבוהות ביותר בקו הייצור.

“מערכת ה- PROVision היא התוספת החדשה ביותר לקו מוצרי ה- e-beam שלנו וחלק מרכזי באסטרטגיית הצמיחה של אפלייד,” אמר בוב פרלמוטר, סגן נשיא ומנהל כללי של קבוצת ההדמיה ובקרת התהליכים באפלייד. “טכנולוגיית ה-e-beam column הייחודית שלנו היא הטובה מסוגה בתעשייה. בשילוב עם מתודולוגיות הבדיקה החדשות של לקוחותינו, היא מאפשרת למערכת ה- PROVision להשתלב גם בסביבת הייצור ולשמש ליישומים נוספים מעבר לשלב הפיתוח”.

מערכת ה- PROVision צוברת תנופה ועד כה סופקה כבר לתריסר לקוחות, לרבות הזמנות חוזרות 
מ-foundry מוביל ויצרן זכרונות גדול. מערכות נוספות מתוכננות להישלח ללקוחות קיימים וחדשים במחצית השנייה של 2016.

“השילוב הייחודי של רזולוציה גבוהה ביותר ויכולת דגימה (sampling) מסיבית שמציעה מערכת 
ה- PROVision מסייע בקיצור משך הזמן לפתרון הבעיה ובקיצור משך הזמן עד להשקת הטכנולוגיות המתקדמות שלנו,” אמר ד”ר או-ז’אנג קוון מקבוצת SK hynix R&D EBI.

עם מהירות גדולה פי שלושה בהשוואה לכלי בדיקה (inspections) אחרים בטכנולוגיית

e-beam hot spot inspection, מערכת ה- PROVision מבטיחה אפיון מדויק של התהליך, חיזוי ואיתור פגמים בייצור וכן איתור ליקויים המעכבים איכות ויעילות גבוהות יותר לאורך כל מחזור החיים של המוצר ב-fab. מערכת PROVision משלימה את מוצרי המדידה והבדיקה באמצעות e-beam, כמו גם את קו המוצרים לבדיקת פרוסות סיליקון מבוססי אופטיקה.