מערכת SEMVision H20 מאפשרת ניתוח איכותי ומהיר יותר של פגמים ברמת הננו בשבבים מתקדמים * הדור השני של טכנולוגיית Cold Field Emission (CFE) מספק הדמיה ברזולוציה גבוהה * זיהוי תמונה מבוסס AI מאיץ את איתור וסיווג הפגמים
אפלייד מטיריאלס (נאסד"ק: AMAT) משיקה מערכת חדשה לבקרת שבבים, שתאפשר ליצרניות השבבים להמשיך למזער ולמתוח את גבולות האפשר של פיתוח שבבים . מערכת SEMVision™ H20 של החברה משלבת בין טכנולוגיית קרן האלקטרונים הרגישה ביותר בשוק (eBeam) לעיבוד תמונה מתקדם מבוסס בינה מלאכותית, על מנת לאפשר ניתוח איכותי ומהיר יותר של פגמים חבויים ברמת הננו בשבבים המתקדמים ביותר בעולם. מערכת SEMVision H20 מפותחת ומיוצרת בישראל.
הדמיה באמצעות קרן אלקטרונים היא אמצעי ותיק ומשמעותי לזיהוי פגמים שגודלם המזערי לא מאפשר שימוש באמצעים אופטיים. הרזולוצייה הגבוהה במיוחד שהיא מספקת מאפשרת ניתוח של אי-הדיוקים המזעריים ביותר בים של מיליארדי דפוסי מעגלים ברמת הננומטר. תהליך הבדיקה המסורתי מורכב משני שלבים – שימוש ראשוני באמצעים אופטיים לסריקת פגמים בפרוסות הסיליקון (wafers) ובדיקה חוזרת של הפגמים באמצעות קרן אלקטרונים (eBeam) לאפיון מיטבי. בעידן החדש, בו המאפיינים המזעריים ביותר של שבבים עשויים להגיע לעובי של אטומים בודדים – המשימה של ברירת פגמים אמיתיים מהתראות שווא הופכת למורכבת וסבוכה מאוד.
בארכיטקטורות השבבים המתקדמות בעולם, מפות הפגמים שמייצרות בדיקות אופטיות צפופות בצורה משמעותית, מה שעשוי להגדיל עד פי מאה את מספר השבבים המועברים לסקירת פגמים באמצעות eBeam. בקרב מהנדסי בקרת תהליך, קיים צורך גובר לשימוש במערכות סקירה התומכות בניתוח מספר גדול אקספוננציאלית של דגימות מבלי לפגוע במהירות וברגישות הנדרשים לייצור תעשייתי.
"מערכת SEMVision™ H20 החדשה שלנו מאפשרת ליצרניות השבבים המובילות בעולם לסנן את הרעשים בכמות המידע העצומה המתקבלת מאמצעי הבדיקה", אומר קית' וולס, סמנכ"ל הדמיה ובקרת תהליך באפלייד מטיריאלס. "בזכות השילוב של אלגוריתמים מתקדמים של בינה מלאכותית עם טכנולוגיית ה- eBeam החדשנית, המערכת שלנו מסוגלת לבצע זיהוי מהיר של הפגמים המזעריים ביותר החבויים במעמקי הגוף התלת מימדי של שבבים מתקדמים, ולספק תוצאות בדיקה מהירות ומדויקות יותר, התורמות לקיצור זמני הייצור והתפוקה ".
טכנולוגיית ה- eBeam החדשה של אפלייד היא קריטית לגיבוש תצורות מבניות תלת-מימדיות מורכבות, הנחוצות לייצור שבבים לוגיים בצומת 2 ננומטר ומעבר לו – לרבות טרנזיסטורים חדשים בטכנולוגיית Gate-All-Around (GAA) – וכן לבניית מאגרי זיכרון מסוג DRAM בצפיפות גבוהה ו- 3D NAND. מערכת SEMVision™ H20 של אפלייד לבקרת שבבים נבחרה לשימוש על ידי יצרניות שבבים לוגיים ושבבי זיכרון מובילות עבור צמתים טכנולוגיים חדשניים.
מערכת SEMVision™ H20 החדשה מסתמכת על שני חידושים עיקריים לסיווג פגמים ברמת דיוק מרשימה ומספקת תוצאות במהירות של עד פי 3 מהשיטות המתקדמות ביותר שקיימות כיום.
- הדור הבא של טכנולוגיית CFE טכנולוגיית ה- Cold Field Emission (CFE) של אפלייד מהווה פריצת דרך בתחום הדמיית eBeam, המאפשרת רזולוציה של פחות מננומטר לזיהוי הפגמים החבויים הקטנים ביותר. טכנולוגיית ה- CFE פועלת בטמפרטורת החדר ומפיקה קרן צרה יותר המכילה מספר רב יותר של אלקטרונים, וכך משפרת את הרזולוצייה בעד 50% ומגבירה את מהירות ההדמיה עד פי 10 בהשוואה לטכנולוגיית Thermal Field Emission (TFE) קונבנציונלית. באמצעות מערכת SEMVision™ H20, אפלייד מציגה את הדור השני של טכנולוגיית ה- CFE שלה, המאיצה את התהליך מבלי להתפשר על איכות הרגישות והרזולוציה. מהירות ההדמיה המואצת מגבירה את הכיסוי של כל פרוסת סיליקון ומאפשרת ליצרניות השבבים להפיק היקף זהה של מידע בשליש מהזמן.
- מודלים של הדמיה בלמידה עמוקה מבוססת AI מערכת SEMVision™ H20 עושה שימוש ביכולות בינה מלאכותית לזיהוי אוטומטי של פגמים אמיתיים ואלימינציה של "רעשי רקע". רשת הלמידה העמוקה שפיתחה אפלייד לומדת באופן רציף מנתונים המתקבלים מהמפעל של יצרנית השבבים וממיינת את הפגמים לקטגוריות, כגון שריטות, שאריות חומר, חלקיקים ועוד עשרות סוגי פגמים, ובכך מאפשרת איפיון מדויק ויעיל יותר של הפגמים.
אודות אפלייד מטיריאלס
אפלייד מטיריאלס היא המובילה באספקת פתרונות בתחום הנדסת חומרים המשמשים לייצור כמעט כל שבב חדש וצג מתקדם בעולם. המומחיות של אפלייד בהנדסת חומרים ברמת האטום עבור התעשייה, מאפשרת ללקוחות להפוך הזדמנויות למציאות. החידושים של החברה מאפשרים לטכנולוגיה להפוך למציאות ולעצב עתיד טוב יותר. אפלייד מטיריאלס ישראל עוסקת בפיתוח וייצור של מערכות מתקדמות לבקרת תהליך ייצור השבבים, פעילות המהווה חלק בלתי נפרד מהתשתית הקריטית העומדת בבסיס כל מוצר טכנולוגי. כמעט כל שבב בעולם עבר בתהליך הייצור דרך אחת מהמערכות המתקדמות של אפלייד מטיריאלס המפותחות ומיוצרות בישראל. אפלייד מטיריאלס היא אחת מחברות ההיי-טק הבינלאומית הראשונות שקבעו את ישראל כמקום פעילות אסטרטגי והיא אחת המשקיעות הזרות הגדולות ביותר בהיי-טק בישראל.
