החשש היה שהמכונה שהם רוצים למכור לסין בטכנולוגיות 28 ננומטר עלולה לעבור שידרוג על ידי הסינים כדי להגדיל את הרזולוציה שלה וכך לייצר שבבים בטכנולוגיות בממדים קטנים יותר
ידיעה שפורסמה באתר הטאיוואני דיגיטיימס דווחה כי ASML, יצרנית מובילה של כלי ליתוגרפיה, שוקלת לשחרר גרסה ספציפית לסין של כלי הליתוגרפיה האולטרה סגולה העמוקה (DUV) שלה. כלי זה יעמוד בכללי הייצוא האחרונים של ארה"ב וניתן יהיה לשלוח אותו ללקוחות סיניים ללא רישיון. היא תאפשר לחברות כמו SMIC והואה הונג לייצר שבבים בצמתים מסוג 28 ננומטר ועבים יותר, אך לא תאפשר שימוש בצמתים מתקדמים יותר. עם זאת, ASML הכחישה מאז את הדיווח הזה, והצהירה כי היא לא מתכננת מערכת ספציפית עבור סין.
תיאורטית, ניתן יהיה לשנות את המכשיר הזה כדי להגדיל את הרזולוציה המינימלית הנתמכת שלו, ולמנוע מ-SMIC ומיצרניות שבבים סיניות אחרות ליצור טכנולוגיית תהליך תת-28 ננומטר. בהתחשב בכך שרוב ההכנסות של SMIC מגיעות מצמתי ייצור בעובי של יותר מ-28 ננומטר, סביר להניח שחברות סיניות עדיין יהיו מעוניינות בכלים כאלה.
תקנות הייצוא האחרונות בארה"ב מחייבות חברות ויחידים אמריקאים לקבל רישיונות לייצוא כלים וטכנולוגיות המסוגלים לייצר שבבים לוגיים עם טרנזיסטורים לא מישוריים בצמתי 14nm/16nm ומטה, 3D NAND עם 128 שכבות או יותר, ושבבי זיכרון DRAM של 18nm או פחות. כללים אלה חלים גם על חברות לא אמריקאיות המייצאות רכיבים מארה"ב, כמו במקרה של ASML ו- Twinscan NXT:1980Di.
כללי הייצוא ההולנדיים האחרונים מחייבים את ASML לקבל רישיון ייצוא למכור את סורקי Twinscan NXT:2000i שלה לחברות סיניות. למרות ש-ASML לא יצרה באופן רשמי גרסה מוגבלת של ה-Twinscan NXT, אם תקנות הייצוא ימשיכו להגביל מכירות של טכנולוגיות מתקדמות לסין, מהלך כזה נראה סביר.
ASML מכחישה את מה שהיא מכנה שמועות.
