• אודות
  • כנסים ואירועים
  • צור קשר
  • הצטרפות לניוזלטר
  • TapeOut Magazine
  • ChipEx
  • סיליקון קלאב
  • Jobs
מבית
EN
Tech News, Magazine & Review WordPress Theme 2017
  • עיקר החדשות
    איור, וועדת פרס נובל

    פרס נובל לפיזיקה 2025: נקודות קוונטיות מניסוי זעיר על שבב לפיזיקה ומחשבים קוונטיים

    זכרונות NAND. אילוסטרציה: depositphotos.com

    מנכ"ל Phison: המחסור ב־NAND יימשך עשור ויוביל ל"סופר־סייקל" חדש

    משמאל לוק ואן דן הובה, יו"ר imec ופטריק ונדנאמי, מנכ"ל imec. צילום יחצ

    פטריק ונדנאמי ימונה למנכ"ל imec; לוק ואן דן הובה יכהן כיו"ר

    Raphe mPhibr ההודית מאיצה פיתוח כטב״מים בעזרת פלטפורמת Dassault Systèmes

    Raphe mPhibr ההודית מאיצה פיתוח כטב״מים בעזרת פלטפורמת Dassault Systèmes

    יבגני דיברוב, מנכ"ל ARMIS במפגש הסיליקון קלאב, ספטמבר 2025. צילום: שמואל אוסטר

    יבגני דיברוב: "התוקפים מכוונים לתשתיות הקריטיות – אנחנו כאן כדי לעצור אותם"

    יונדאי. אילוסטרציה: depositphotos.com

    יונדאי מוביס וחברות שבבים קוריאניות מקימות שרשרת ערך מקומית לשבבים לרכב

  • בישראל
    משתתפי הפאנל במפגש הסיליקון קלאב, 30 בספטמבר 2025. מימין: עופר סמדרי, בן וולקוב, הילה זינגר והמנחה שלמה גרדמן. צילום: שמואל אוסטר

    פנל סיליקון קלאב: בינה מלאכותית בסייבר: משבר או מהפכה?

    מיקי בודאי, מנכ"ל Transmit Security במפגש הסיליקון קלאב, 30 בספטמבר 2025. צילום: שמואל אוסטר

    מיקי בודאי,  Transmit Security : "אי אפשר לסמוך עוד על קול, וידאו או תעודות – הדיפ-פייק שבר את כללי המשחק

    מערכת הטעינה אלחוטית Genesis של CaPow. צילום: אדווה שלהבת ברזילי

    CaPow קיבלה אישור CE למערכת Genesis להעברת אנרגיה בתנועה

    חנות של וולמארט. אילוסטרציה: depositphotos.com

    וולמארט ו־Wiliot משיקות פריסת ענק של טכנולוגיית IoT פיזית בשרשרת האספקה

    שי און, מייסד שותף ונשיא חברת ההזנק AKEYLESS במפגש הסיליקון קלאב, ספטמבר 2025. צילום: שמואל אוסטר

    נשיא Akeyless בסיליקון קלאב: האתגר האמיתי הוא הגנה על זהויות לא אנושיות

    מטה סולראדג'. צילום יחצ

    סולאראדג' משיקה לראשונה יצוא עולמי של מוצרים סולאריים מתוצרת אמריקה

  • מדורים
    • אוטומוטיב
    • בינה מלאכותית (AI/ML)
    • בטחון, תעופה וחלל
    • ‫טכנולוגיות ירוקות‬
    • ‫יצור (‪(FABs‬‬
    • ‫צב"ד‬
    • ‫שבבים‬
    • ‫רכיבים‬ (IOT)
    • ‫תוכנות משובצות‬
    • ‫תכנון אלק' (‪(EDA‬‬
    • תקשורת מהירה
    • ‫‪FPGA‬‬
    • ‫ ‪וזכרונות IPs‬‬
  • מאמרים ומחקרים
  • צ'יפסים
  • Chiportal Index
    • Search By Category
    • Search By ABC
No Result
View All Result
Chiportal
  • עיקר החדשות
    איור, וועדת פרס נובל

    פרס נובל לפיזיקה 2025: נקודות קוונטיות מניסוי זעיר על שבב לפיזיקה ומחשבים קוונטיים

    זכרונות NAND. אילוסטרציה: depositphotos.com

    מנכ"ל Phison: המחסור ב־NAND יימשך עשור ויוביל ל"סופר־סייקל" חדש

    משמאל לוק ואן דן הובה, יו"ר imec ופטריק ונדנאמי, מנכ"ל imec. צילום יחצ

    פטריק ונדנאמי ימונה למנכ"ל imec; לוק ואן דן הובה יכהן כיו"ר

    Raphe mPhibr ההודית מאיצה פיתוח כטב״מים בעזרת פלטפורמת Dassault Systèmes

    Raphe mPhibr ההודית מאיצה פיתוח כטב״מים בעזרת פלטפורמת Dassault Systèmes

    יבגני דיברוב, מנכ"ל ARMIS במפגש הסיליקון קלאב, ספטמבר 2025. צילום: שמואל אוסטר

    יבגני דיברוב: "התוקפים מכוונים לתשתיות הקריטיות – אנחנו כאן כדי לעצור אותם"

    יונדאי. אילוסטרציה: depositphotos.com

    יונדאי מוביס וחברות שבבים קוריאניות מקימות שרשרת ערך מקומית לשבבים לרכב

  • בישראל
    משתתפי הפאנל במפגש הסיליקון קלאב, 30 בספטמבר 2025. מימין: עופר סמדרי, בן וולקוב, הילה זינגר והמנחה שלמה גרדמן. צילום: שמואל אוסטר

    פנל סיליקון קלאב: בינה מלאכותית בסייבר: משבר או מהפכה?

    מיקי בודאי, מנכ"ל Transmit Security במפגש הסיליקון קלאב, 30 בספטמבר 2025. צילום: שמואל אוסטר

    מיקי בודאי,  Transmit Security : "אי אפשר לסמוך עוד על קול, וידאו או תעודות – הדיפ-פייק שבר את כללי המשחק

    מערכת הטעינה אלחוטית Genesis של CaPow. צילום: אדווה שלהבת ברזילי

    CaPow קיבלה אישור CE למערכת Genesis להעברת אנרגיה בתנועה

    חנות של וולמארט. אילוסטרציה: depositphotos.com

    וולמארט ו־Wiliot משיקות פריסת ענק של טכנולוגיית IoT פיזית בשרשרת האספקה

    שי און, מייסד שותף ונשיא חברת ההזנק AKEYLESS במפגש הסיליקון קלאב, ספטמבר 2025. צילום: שמואל אוסטר

    נשיא Akeyless בסיליקון קלאב: האתגר האמיתי הוא הגנה על זהויות לא אנושיות

    מטה סולראדג'. צילום יחצ

    סולאראדג' משיקה לראשונה יצוא עולמי של מוצרים סולאריים מתוצרת אמריקה

  • מדורים
    • אוטומוטיב
    • בינה מלאכותית (AI/ML)
    • בטחון, תעופה וחלל
    • ‫טכנולוגיות ירוקות‬
    • ‫יצור (‪(FABs‬‬
    • ‫צב"ד‬
    • ‫שבבים‬
    • ‫רכיבים‬ (IOT)
    • ‫תוכנות משובצות‬
    • ‫תכנון אלק' (‪(EDA‬‬
    • תקשורת מהירה
    • ‫‪FPGA‬‬
    • ‫ ‪וזכרונות IPs‬‬
  • מאמרים ומחקרים
  • צ'יפסים
  • Chiportal Index
    • Search By Category
    • Search By ABC
No Result
View All Result
Chiportal
No Result
View All Result

בית מאמרים ומחקרים מאמרים טכניים שיפור בתהליך שיאפשר הגברת המוליכות החשמלית ברצועות גרפן שישמשו בעתיד בהתקני אלקטרוניקה

שיפור בתהליך שיאפשר הגברת המוליכות החשמלית ברצועות גרפן שישמשו בעתיד בהתקני אלקטרוניקה

by דר. משה נחמני
26 פברואר 2010
in מאמרים ומחקרים, מאמרים טכניים
graphen3
Share on FacebookShare on TwitterLinkedinWhastsapp

ע"י שילוב של חומר מסחרי זמין מסוג זכוכית ספין (spin-on-glass, SOG) לגרפן וחשיפתם לקרינה של אלומת אלקטרונים, החוקרים מהמכון לטכנולוגיה בג'ורג'יה, ארה"ב, הצליחו ליצור את שני סוגי האילוח פשוט ע"י שינוי זמן החשיפה של האלומה .

משטח גרפן נקי כפי שנסרק במיקרוסקופ אלקטרונים. איור: אוניברסיטת ונדרבילט

תהליך חד-שלבי פשוט, המייצר אילוח הן מסוג p והן מסוג n של משטחי גרפן נרחבים, יוכל לקדם את השימוש בחומר המבטיח הזה להתקנים אלקטרוניים עתידיים. שיטת האילוח החדשנית תוכל לשמש גם בכדי להגביר את המוליכות החשמלית בננו-רצועות גרפן המשמשות בחיבורי מחשב.

ע"י שילוב של חומר מסחרי זמין מסוג זכוכית ספין (spin-on-glass, SOG) לגרפן וחשיפתם לקרינה של אלומת אלקטרונים, החוקרים מהמכון לטכנולוגיה בג'ורג'יה, ארה"ב, הצליחו ליצור את שני סוגי האילוח פשוט ע"י שינוי זמן החשיפה של האלומה – רמות גבוהות של הקרנה מולידות מתחמים מסוג p, בעוד שרמות נמוכות מולידות מתחמים מסוג n.

השיטה שימשה להכנת צומתי p-n באיכות גבוהה. במידה והחוקרים יצליחו לגרום למתכת להיות פחות פעילה מבחינה כימית, הם צופים כי האילוח שנוצר ביריעות הגרפן יישאר קבוע.

"זהו צעד שיוכל לקדם הכנה אפשרית של טרנזיסטורים מבוססי-גרפן ותחמוצות מתכת משלימות לו," מציין אחד מהחוקרים. ממצאי המחקר פורסמו בכתב-העת המדעי Applied Physics Letters.

תהליך האילוח החדשני מתחיל כאשר החוקרים מסירים פתיתים של גרפן, בעובי של אחת עד ארבע שכבות כל אחד, מגוש של גרפיט. הם ממקמים את השכבות על משטח של צורן מחומצן ומפעילים על המערכת התקן מגע מתאים.

בשלב הבא, הם שוזרים בסחרור שכבות של החומר רגיש-האור hydrogen silsesquoxane (HSQ) ואז מתקנים חלקים מסוימים מהשכבה הדקיקה המתקבלת באמצעות קרינה של אלומת אלקטרונים. השיטה מספקת בקרה מדויקת על כמות הקרינה והנקודות המדויקות בגרפן שעליהן היא מופעלת, יחד עם רמות גבוהות יותר של אנרגיה, המתקבלות מצילוב מוגבר יותר של החומר HSQ.

"הפעלנו רמות משתנות של קרינת אלקטרונים ואז בחנו את השפעתן על התכונות של נושאי-המטען בסריג הגרפן," מסביר אחד מהחוקרים. "קרינת האלקטרונים סיפקה לנו טווח חד של בקרה שהינה רבת-ערך עבור הייצור של התקנים ננומטריים. אנו מסוגלים להפעיל אלומת אלקטרונים בעלת קוטר של ארבעה או חמישה ננומטרים בלבד המאפשרת לנו לקבל תבניות אילוח מדויקות ביותר."

החוקרים מציינים כי מדידות חשמליות הראו כי לצומת p-n בגרפן, שנוצר בשיטה החדשה, ישנה הפרדת אנרגיה גבוהה – עובדה המצביעה על השפעות אילוח חזקות. חוקרים במעבדות אחרות בעולם הדגימו אילוח של גרפן במגוון תהליכים, ביניהם השקעת החומר בתמיסות שונות וחשיפתו לשלל גזים. התהליך החדש הינו הראשון המאפשר אילוח אלקטרונים ואילוח חורים באותו החומר.

החוקרים מציינים כי תהליכי אילוח של גרפן אמורים להיות שונים מאוד מאלו המשמשים היום לאילוח צורן. עבור צורן, בשלב האילוח מותמרים אטומים של סריג הצורן באטומים של חומר אחר. בתהליך החד-שלבי החדש עבור אילוח גרפן, החוקרים סבורים כי האילוח מאפשר החדרה של אטומי מימן וחמצן בקרבת הסריג הפחמני. אטומי המימן והחמצן אינם מתמירים את אטומי הפחמן, אלא הם תופסים מקומות מעל המבנה הסריגי.
"אנרגיה המסופקת לזכוכית הספין מפרקת קשרים כימיים ומשחררת אטומי מימן וחמצן הנקשרים במקום זאת לסריג הפחמני," מסביר אחד מהחוקרים. "אנרגית אלקטרונים חזקה משנה את כל מבנה זכוכית הספין לכעין רשת, ואז נוצרים יותר אטומי חמצן מאשר מימן וכך מתקבל אילוח מסוג n."

בייצור המוני יותר, סביר להניח כי קרינת אלומת האלקטרונים תוחלף בתהליכי ליתוגרפיה רגילים, מסביר החוקר. שינוי במידת ההַחְזָרוּת (reflectance) או במידת ההַעֲבָרָה (transmission) של תבנית הכיסויים (mask set) יביא לשליטה בכמות הקרינה שמגיעה לזכוכית הספין, וזו תיקבע, בסופו של דבר, אם ייוצרו אזורים מסוג n או מסוג p.

"ביצוע כל המהלכים בשלב אחד יוביל להימנעות מחלק משלבי הליתוגרפיה היקרים," הוא אומר. "ליתוגרפיה מסוג Gray-scale תוכל לאפשר בקרה מדויקת על האילוח לכל אורכו של משטח הפיסה."

לשם אילוח אזורים גדולים כחיבורים, שאינם מחייבים החדרת תבניות לתוכם, החוקרים פשוט יכסו אותם עם החומר HSQ ויחשפו אותם למקור הפלסמה. השיטה מסוגלת להגביר את המוליכות של ננו-הרצועות עד פי עשרה יותר מאשר גרפן בלתי מטופל.

מאחר והחומר HSQ כבר מוכר דיו לתעשיית המיקרו-אלקטרוניקה, הגישה החד-שלבית תוכל לסייע בהתאמת גרפן לתהליכים קיימים, תוך הימנעות משינוי במערכות העיבוד והייצור של מוליכים למחצה. החוקרים מתכוונים להבין טוב יותר כיצד בדיוק מתרחש התהליך והאם פולימרים אחרים יובילו לשיפור בביצועים.

{loadposition content-related}
דר. משה נחמני

דר. משה נחמני

נוספים מאמרים

אילוסטרציה: depositphotos.com
מחקרי שוק

שוק היוניקורנים 2025: הבכורה בידי בינה מלאכותית וטכנולוגיה לארגונים

AI PC- המחשב האישי שמלמד שחמט. איור: אינטל
בינה מלאכותית (AI/ML)

ה-AI למד לדבר שחמט

השקעות

עסקת אינטל טראמפ – האם מדובר בהימור אסטרטגי או בצעד נואש

מלחמת הסחר בין ארה
‫שבבים‬

מי ששולט בשבבים – שולט בעולם: המלחמה הקרה על הסיליקון

הפוסט הבא
277077_4713

גרטנר: הכנסות חברות השבבים יצמחו ב-20% ב-2010

כתיבת תגובה לבטל

האימייל לא יוצג באתר. שדות החובה מסומנים *

  • הידיעות הנקראות ביותר
  • מאמרים פופולאריים

הידיעות הנקראות ביותר

  • יבגני דיברוב: "התוקפים מכוונים לתשתיות הקריטיות…
  • מנכ"ל Phison: המחסור ב־NAND יימשך עשור ויוביל…
  • וולמארט ו־Wiliot משיקות פריסת ענק של טכנולוגיית IoT…
  • Raphe mPhibr ההודית מאיצה פיתוח כטב״מים בעזרת…
  • נשיא Akeyless בסיליקון קלאב: האתגר האמיתי הוא הגנה…

מאמרים פופולאריים

  • הקאמבק הגדול של השיחה הטלפונית
  • עסקת אינטל טראמפ – האם מדובר בהימור אסטרטגי או בצעד נואש
  • מי ששולט בשבבים – שולט בעולם: המלחמה הקרה על הסיליקון
  • הקפאת זמן קוונטית: לייזרים מקבעים מצבים קוונטיים פי…
  • קרן לייזר אחת מגנה על אטומים מפני אובדן מידע

השותפים שלנו

לוגו TSMC
לוגו TSMC

לחצו למשרות פנויות בהייטק

כנסים ואירועים

כנסים ואירועים

כנס ChipEx2025 יערך ב-13-14 במאי, 2025. הכנס מיועד לכל העוסקים בתעשיית הסמיקונדקטור  כולל מהנדסים, מומחים מקצועיים ובכירים.

לחץ לפרטים

הרשמה לניוזלטר של ChiPortal

הצטרפו לרשימת הדיוור שלנו


    • פרסם אצלנו
    • עיקר החדשות
    • הצטרפות לניוזלטר
    • בישראל
    • צור קשר
    • צ'יפסים
    • Chiportal Index
    • TapeOut Magazine
    • אודות
    • מאמרים ומחקרים
    • תנאי שימוש
    • כנסים
    • אוטומוטיב
    • בינה מלאכותית
    • בטחון, תעופה וחלל
    • ‫טכנולוגיות ירוקות‬
    • ‫יצור (‪(FABs‬‬
    • ‫צב"ד‬
    • ‫רכיבים‬ (IOT)
    • ‫שבבים‬
    • ‫תוכנות משובצות‬
    • ‫תכנון אלק' (‪(EDA‬‬
    • ‫‪FPGA‬‬
    • ‫ ‪וזכרונות IPs‬‬

    השותפים שלנו

    כל הזכויות שמורות Chiportal (c) 2010 תנאי שימוש ומדיניות פרטיות

    דרונט דיגיטל - בניית אתרים, בניית אתרי וורדפרס, בניית אתרי סחר, חנות אינטרנטית, פיתוח אתרים

    No Result
    View All Result
    • עיקר החדשות
    • בישראל
    • מדורים
      • אוטומוטיב
      • בינה מלאכותית (AI/ML)
      • בטחון, תעופה וחלל
      • ‫טכנולוגיות ירוקות‬
      • ‫יצור (‪(FABs‬‬
      • ‫צב"ד‬
      • ‫שבבים‬
      • ‫רכיבים‬ (IoT)
      • ‫תוכנות משובצות‬
      • ‫תכנון אלק' (‪(EDA‬‬
      • ‫‪FPGA‬‬
      • ‫ ‪וזכרונות IPs‬‬
      • תקשורת מהירה
    • מאמרים ומחקרים
    • צ'יפסים
    • כנסים
    • Chiportal Index
      • אינדקס חברות – קטגוריות
      • אינדקס חברות A-Z
    • אודות
    • הצטרפות לניוזלטר
    • TapeOut Magazine
    • צור קשר
    • ChipEx
    • סיליקון קלאב

    כל הזכויות שמורות Chiportal (c) 2010 תנאי שימוש ומדיניות פרטיות

    דרונט דיגיטל - בניית אתרים, בניית אתרי וורדפרס, בניית אתרי סחר, חנות אינטרנטית, פיתוח אתרים

    דילוג לתוכן
    פתח סרגל נגישות כלי נגישות

    כלי נגישות

    • הגדל טקסטהגדל טקסט
    • הקטן טקסטהקטן טקסט
    • גווני אפורגווני אפור
    • ניגודיות גבוההניגודיות גבוהה
    • ניגודיות הפוכהניגודיות הפוכה
    • רקע בהיררקע בהיר
    • הדגשת קישוריםהדגשת קישורים
    • פונט קריאפונט קריא
    • איפוס איפוס