פתרון מדידת החומרים של נובה נבחר לבקרת ייצור שבבים בטכנולוגיית 5 ננומטר

נובה הודיעה כי יצרן Foundry מוביל הזמין לאחרונה מערכת מתקדמת מסוג VeraFlex, פתרון המדידה בטכנולוגיית X-Ray של נובה, עבור תהליכי הייצור בטכנולוגיית 5 ננומטר.

הפתרון של נובה עושה שימוש בספקטרוסקופיה פוטואלקטרונית מבוססת X-ray (XPS) על מנת לבצע מדידות של הרכב החומרים ושל מימדי שכבות דקות מורכבות, בו-זמנית, בזמן תהליך הייצור. אינטגרציית השכבות בטכנולוגית הייצור הזו מורכבת באופן משמעותי יותר מזו של טכנולוגיות קודמות, הן מבחינת החומרים בהם משתמשים והן מבחינת המבנה הרב-שכבתי, ומצריכים בקרת תהליכים מתוחכמת כדי לייצר אחידות בייצור. המוצרים במשפחת VeraFlex מספקים את רמות הרגישות והדיוק הנדרשות עבור מדידות מאתגרות אלה.
כתוצאה מבחירה זו, נובה צופה היקף עסקים של יותר מ-12 מיליון דולר מלקוח זה, במהלך השנים 2018 ו-2019.

"אנו מאוד מרוצים מבחירה זו, המאשרת את יכולת התאמת הטכנולוגיה שלנו לייצור דור השבבים הבא בגודל של 5 ננומטר, וממחישה את הצורך הגובר בפתרונות מדידה מתקדמים לחומרים מורכבים עבור טכנולוגיות ייצור מתקדמות", אמר אדריאן וילסון, מנהל חטיבת מדידת החומרים בנובה. "במטרה להשיג ביצועים טובים יותר בשבבים קטנים יותר, לקוחותינו נדרשים להתאים את אסטרטגיית החומרים שלהם, מעבר לשינויי ארכיטקטורה מסורתיים. התפתחויות מהפכניות אלה מגבירות את הצורך בבקרת חומרים ומגדילות בהתאם את שוק היעד שלנו. אנו מצפים לקבל הזמנות נוספות כאשר טכנולוגיית 5 ננומטר תעבור לייצור המוני ותדרוש יישומים נוספים."

{loadposition content-related}