"העובדה כי מדובר בהזמנה חוזרת גדולה מאותו הלקוח מעידה על אמון הלקוח ביכולות הטכניות של המערכות שלנו ובתרומתן לשיפור כושר היצור ורווחיות היצור", אמר יצחק מזור, מנכ"ל ג'ורדן ואלי סמיקונדקטורס
| מערכת טיפוסית של ג'ורדן ואלי סמיקונדקטורס. מתוך אתר החברה |
ג'ורדן ואלי סמיקונדקטורס, ספקית פתרונות מטרולוגיה מבוססי רנטגן לתעשיית המוליכים למחצה , הודיעה על אספקת הזמנה של מספר מערכות JVX7200 ו JVX6200 המיועדות לבקרת תהליכי יצור שכבות דקות, בעבור אחד מיצרני השבבים המובילים במזרח הרחוק.
"העובדה כי מדובר בהזמנה חוזרת גדולה מאותו הלקוח מעידה על אמון הלקוח ביכולות הטכניות של המערכות שלנו ובתרומתן לשיפור כושר היצור ורווחיות היצור", אמר יצחק מזור, מנכ"ל ג'ורדן ואלי סמיקונדקטורס. "מערכות המטרולוגיה המתקדמות של ג'ורדן ואלי מספקות מענה לאפליקציות היצור המורכבות ביותר, הן ב – FEOL והן ב- BEOL, דוגמת איפיון שכבות SiGe מורכבות, silicide, high-k/metal ו- metallization," הוסיף מר מזור.
פלטפורמת ה- JVX7200, זוכת פרס "BEST OF WEST 2010" היוקרתי מטעם ארגון SEMI העולמי, כבר פועלת במספר מפעלים מתקדמים בתחום ה LOGIC ומתמחה באיפיון שכבות SiGe ו- Sic, הן לצרכי מחקר ופיתוח והן לבקרת קווי יצור.
פלטפורמת ה JVX7200 משלבת שני ערוצי מדידה הפועלים בטכנולוגיה של התאבכות (XRD) והחזרה (XRR) ברזולוציה גבוהה של קרני רנטגן (X-Ray).
ערוץ ה HRXRD מאפשר מדידת הרכב ומאמצים של שכבות SiGe בעוד שערוץ ה XRR, מאפשר מדידה מהירה של עובי וצפיפות השכבות.
לאחרונה הושק ערוץ XRR חדש – "VEGA XRR" , שהוא הראשון מסוגו בעולם בעל גודל ספוט של פחות ממילימטר, דבר המאפשר מדידה ישירה על פרוסות סיליקון ומבטיח מדידה מדוייקת ואמינה.
פלטפורמת ה – JVX6200 משלבת ערוצי מדידה שפועלים בטכנולוגיה של התאבכות ופלואורסצנציה, מתמחה באפיון אפליקציות כגון high-k/metal, silicide, ONO, SiON, Cu seed/barriers UBM ו – micro bumps.
"בעוד שטכנולוגיות מדידה דוגמת אליפסומטריה דורשות, לעיתים קרובות, כיולים רבים, בשל קורלציה בין מדדי הפרמטרים האופטיים, השימוש ברנטגן ומדידת החזרה והתאבכות מספקים תוצאות מוחלטות בלא כל צורך בכיול חוזר ונשנה, מה שמבטיח תוצאות מדויקות ואמינות", אמר אלון קפל, מנהל שיווק ומכירות בג'ורדן ואלי.
חברת ג'ורדן ואלי מתמחה בהשמת קרני רנטגן לטובת בקרת יצור ובקרת איכות בתעשיית המיקרואלקטרוניקה. טכנולוגית XRR שפיתחה החברה מבוססת על מדידות באורכי גל קצרים מאוד (X-RAY) ובזוויות כניסה שטוחות (0-4 מעלות) , כאשר באמצעותה ניתן למדוד ולאפיין מבנים רבי-שכבות, שעוביים כמה עשרות שכבות אטומיות בודדות ומהווים את הבסיס לייצור שבבי הסיליקון העתידיים.
החברה מעסיקה כ- 160 עובדים, כ- 100 מהם במטה החברה במגדל העמק שם נעשית פעילות פיתוח, יצור, מכירות, שיווק ותמיכת לקוחות. לחברה שתי חברות בנות בבעלות מלאה הפועלות בארה"ב ובאנגליה, סניפים בטיוואן וגרמניה ונציגי מכירות ביפן, קוריאה, טיוואן, וארה"ב.
