Xact200 הוא הדור השני של מערכת להכנת דגמים לניתוח כשלים וחקר הביצועים בייצור שבבים
קמטק, ספקית פתרונות בדיקה אוטומטיים לבקרת תהליכי היצור לתעשיות המוליכים למחצה והמעגלים המודפסים, הודיעה על השקת Xact200 – הדור השני של מערכת הכנת דגמים לניתוח כשלים וחקר הביצועים בייצור שבבים (TEM/STEM). קמטק מדווחת עוד על הזמנה ראשונה למערכת Xact200 מיצרנית שבבים מובילה מאסיה.
בשנים האחרונות חלה עלייה במורכבות החומרים ובמזעור הרכיבים, המחייבת כיום בדיקות ברזולוציה המתאפשרת רק באמצעות מיקרוסקופיה אלקטרונית חודרת בטכנולוגיות STEM ו-TEM. תהליך הכנת הדגמים לניתוח כשלים וחקר הביצועים בשלב ה-Front-end בקו הייצור וניתוח כשלים מחוץ לקו הייצור, מהווה "צוואר בקבוק" מכיוון שטכנולוגיות הכנת הדגמים הקיימות אינן מספקות את רמת הרזולוציה והקונטרסט הגבוהות הנדרשות כיום בשוק. מערכת Xact של קמטק מתגברת על מגבלות אלה באמצעות טכנולוגיית דיקוק על ידי שימוש בקרן יונים ( AIM) המאפשרת הכנת דגמים מהירה בתפוקה גבוהה יותר, עם פגיעה מינימאלית במבנה החומר.
