לפי החשד, עובדים לשעבר של SEMES, חברה בת של סמסונג המפתחת ציוד לניקוי שבבים מכרו את סודות הייצור של המכונות לסין תמורת סכום עתק של כ-96 מיליון דולר
התביעה בדרום קוריאה הגישה השבוע כתבי אישום נגד חמישה אנשים בגין הדלפת טכנולוגיית הליבה הראשונה בעולם לניקוי מוליכים למחצה סופר-קריטית שפותחה על ידי SEMES, חברת בת מרכזית של סמסונג אלקטרוניקס, לסין.
משרד התובע המחוזי של סוואן הודיע ב-16 בינואר כי הגיש כתבי אישום נגד חמישה אנשים, בהם חוקרי SEMES לשעבר ומתווך הדלפות טכנולוגיה, בגין הפרת חוק ההגנה על טכנולוגיה תעשייתית והחוק למניעת תחרות לא הוגנת (הדלפה של סודות מסחריים). מבין החמישה, ארבעה נעצרו ואחד שוחרר בתנאים מגבילים.
SEMES, שהוקמה בשנת 1993 על ידי סמסונג, היא חברה בת מרכזית המייצרת ציוד לייצור מוליכים למחצה ותצוגה.
החברה מפתחת ציוד לניקוי השבבים בתהליך הייצור, שיכול להפחית את שיעור הפגמים של מוליכים למחצה אולטרה-מיקרו על ידי מזעור הנזק למצעים. לאחר ניקוי ופלים מוליכים למחצה עם תמיסה כימית ואחרים, הציוד מייבש את הוופלים באמצעות פחמן דו חמצני סופר קריטי. משרד המסחר, התעשייה והאנרגיה הקוריאני הגדיר את הציוד כטכנולוגיה לאומית מרכזית.
חמשת הנאשמים כללו עובד SEMES לשעבר שפרש מהחברה ב-2016 והקים חברה משלו ב-2019. על פי החשד, הוא העביר שרטוטי מפתח של ציוד ניקוי מוליכים למחצה סופר-קריטיים, שאותם רכש באמצעות מנכ"ל החברה השותפה SEMES, למתווך דליפות טכנולוגיה ביוני 2021. המתווך הדליף את התרשימים לסין.
חוקרים מצאו כי עובד SEMES לשעבר ואחרים הרוויחו סכום עתק של של 119.3 מיליארד וון (כ-96 מיליון דולר) על ידי ייצוא 20 יחידות של ציוד ניקוי מדצמבר 2019 עד יולי 2022.
עובד SEMES לשעבר מואשם גם בהדלפת מידע על ציוד ניקוי הפוספטים הבודד, שפותח על ידי SEMES בשנת 2021 בפעם השנייה בעולם, לעובדי החברה שלו על ידי קשירת קשר עם חוקר SEMES לשעבר, שגם נעצר והועמד לדין. ציוד ניקוי פוספט בפרוסות הסיליקון מנקה מוליכים למחצה אחד אחד באמצעות תמיסת חומצה זרחתית. הוא משמש להסרת סיליקה שנותרה על משטחי רקיק. רק שתי חברות הצליחו לפתח את הציוד הזה בעולם – SEMES מקוריאה ושיבאורה מיפן.
במאי אשתקד נעצר עובד SEMES לשעבר והוגש נגדו כתב אישום פעם אחת בגין הדלפת מידע על ציוד ניקוי המוליכים למחצה הרטובים של SEMES לסין. הוא שוחרר בערבות בנובמבר אשתקד בשל תום תקופת מעצרו ונשפט ללא מעצר, אך נכלא שוב לאחר שהתביעה חשפה את פרשת דליפת הטכנולוגיה הנוספת.
"בין השנים 2009 ל-2021, SEMES השקיעה כ-35 מיליארד וון במחקר ופיתוח של הטכנולוגיה הסופר-קריטית", אמר גורם בתביעה. "הפשע הזה גרם להפסד ישיר של יותר מ-35 מיליארד וון. החשש הוא ש-SEMES תסבול מהפסד של יותר מ-40 מיליארד וון בשנה אם ההזמנות ל-SEMES יירדו ב-10% בלבד בשל ירידה בכוחה הטכנולוגי של החברה".
