גיא מורגנשטרן, סמנכ"ל השיווק וניהול המוצר של UCT ישראל, יציג בכנס את תפקידם של שסתומים, מחברים ומערכות בקרת זרימה בהזנת גזים מדודה לתהליכי ALD ו־ALE
ייצור שבבים מתקדם נשען לא רק על ליתוגרפיה, תכנון מעבדים ותהליכי עיבוד פרוסות, אלא גם על מערכות תשתית מדויקות שמוליכות גזים וכימיקלים אל סביבת התהליך. אחת המערכות המרכזיות בתחום זה היא הגזבוקס, המווסת את הזרמת הגזים אל כלי הייצור, בהתאם לדרישות התהליך, סוג החומר, הלחץ, קצב הזרימה והתזמון. לקראת ChipEx2026, שיתקיים ב־12 במאי, UCT ישראל (UCT Fluid Solutions) תציג את תפקידה בתחום זה, בדגש על בקרת זרימה בתהליכי ייצור שבבים מתקדמים.
את ההרצאה מטעם החברה יציג גיא מורגנשטרן, סמנכ"ל השיווק וניהול המוצר של UCT ישראל. נושא ההרצאה יהיה Advanced Gas Box Development והיא תעסוק בפיתוח רכיבים ומערכות המשולבים בגזבוקס של ציוד ייצור שבבים. לפי ד"ר יהודה סלהוב, מנכ"ל UCT ישראל החברה אינה מתמקדת בכנס במוצר יחיד, אלא בהצגת האופן שבו רכיבי בקרת זרימה משתלבים בתהליכי הייצור עצמם.
UCT ישראל, לשעבר המ-לט, פועלת כיום כיחידה עסקית גלובלית בתוך קבוצת UCT העולמית. החברה מפתחת ומייצרת מחברים, שסתומים ומערכות חכמות לבקרת זרימה, המשולבים במערכות ייצור שבבים ובתשתיות תומכות. סלהוב מתאר את פעילות החברה ככזו הנמצאת לאורך חלקים רחבים של שרשרת הייצור: מהובלת גזים מהצוברים או מהגלילים, דרך מערכות חלוקה ובקרה, ועד לממשק עם כלי הייצור ועם סביבת הפרוסה עצמה.
הדגש הטכנולוגי בהרצאה יהיה על הצורך להזריק גזים וכימיקלים בכמויות מדודות מאוד. בתהליכים כגון Atomic Layer Deposition, או ALD מוסיפים חומר לפני השטח של הפרוסה בשכבות דקות במיוחד. בתהליכי Atomic Layer Etching או ALE מסירים חומר באופן מבוקר בשכבות דקות. בשני המקרים, התהליך תלוי ביכולת להכניס פריקרסרים וגזים ייעודיים במינון, בלחץ ובתזמון מדויקים. לכן, שסתום או רכיב זרימה אינם רק רכיב מכני, אלא חלק ממערכת הבקרה של התהליך.
לדברי סלהוב, החברה מפתחת שסתומים ורכיבי זרימה המיועדים לוויסות נקודתי של גזים, כולל מקרים שבהם נדרשת התאמה לתכן הספציפי של הגזבוקס ושל הפריקרסר. מערכות כאלה צריכות לפעול עם גזים אינרטיים, גזים ייעודיים לתעשיית השבבים, מערכות ואקום ולעיתים גם מערכות לטיפול בתוצרי פליטה. במונחי תהליך, המשמעות היא שליטה רציפה בנתיב הגז מהתשתית החיצונית ועד לתא התהליך, כולל שמירה על תנאי ואקום, מניעת זיהום ותמיכה בדרישות יציבות וחזרתיות.
אחד האתגרים בתחום זה הוא שהכימיה משתנה מלקוח ללקוח ומדור טכנולוגי אחד לאחר. יצרני ציוד, פאבים וספקי משנה עובדים עם תצורות שונות של גזבוקס, עם סוגי גזים שונים ועם דרישות שונות של לחץ, זרימה, ניקיון ואמינות. לכן, רכיבי בקרת הזרימה צריכים להיות מותאמים לסביבה שבה הם פועלים, ולא רק לעמוד במפרט מכני כללי. במקרים רבים מדובר בעבודה משותפת עם יצרני ציוד מקוריים, כדי להתאים את רכיבי הזרימה לארכיטקטורת המערכת.
החברה פועלת מול יצרני ציוד וספקי משנה בתעשיית השבבים, וכן מול גורמים הקשורים למערכות גזים, ואקום ותשתיות חדרים נקיים. לפי סלהוב, הרכיבים של UCT ישראל נמצאים באזורים שונים של מערך הייצור: במערכות גזבוקס, במערכות ואקום, במערכות חלוקת גזים, בתשתיות utilities ובמערכות הקשורות לטיפול בגזים לפני ואחרי התהליך. מבחינת יצרני שבבים, אלו שכבות תשתית שאינן תמיד נראות בקדמת המערכת, אך הן משפיעות על יציבות התהליך ועל יכולת הייצור.
ההקשר הרחב יותר הוא העלייה בדרישות מתעשיית הייצור בעקבות הביקוש לשבבים עבור בינה מלאכותית, מרכזי נתונים, תקשורת ורכיבי מחשוב מתקדמים. ככל שתהליכי הייצור נעשים מדויקים יותר, כך גדלה החשיבות של רכיבים שמאפשרים שליטה טובה יותר בגזים, בכימיקלים ובסביבת התהליך. במצב כזה, גם רכיבים הנחשבים לכאורה לתשתית, כמו שסתומים, מחברים ומערכות הזרמה, הופכים לחלק מהיכולת להפעיל תהליך יציב בקנה מידה תעשייתי.
במקביל לפעילות הטכנולוגית, UCT ישראל מרחיבה את פעילותה בנוף הגליל. החברה חנכה בשנה האחרונה מעבדות פיתוח ובדיקות בהשקעה של עשרות מיליוני שקלים, משדרגת קווי ייצור, מגדילה את קיבולת מחסן האספקה הרובוטי ומגייסת כ־200 עובדים. החברה מעסיקה כ־900 עובדים, מהם כ־650 בישראל, בקמפוס באזור התעשייה ציפורית, ועוד כ־280 בסניפיה בעולם.
הרחבת הפעילות בישראל נועדה לתמוך בגידול בהיקפי הפיתוח והייצור בשנת 2026. הגיוס כולל מהנדסי פיתוח ותפעול, אנשי IT, אנשי איכות, מפעילי ייצור והרכבה, מנהלי ייצור ומנהלי פרויקטים. חלק מהעובדים עוברים הכשרה מקצועית בחברה עצמה, בהתאם לצורך של התעשייה בעובדים בעלי ידע מעשי במערכות ייצור ותשתית.
מבחינה תעשייתית, ההופעה של UCT ישראל ב־ChipEx2026 מדגישה תחום שפועל בדרך כלל מאחורי הקלעים של ייצור השבבים. בעוד שהדיון הציבורי מתמקד לרוב במעבדים, בליתוגרפיה, ובביצועי AI, חלק ניכר מהיכולת לייצר שבבים מתקדמים תלוי במערכות שמבטיחות שסביבת התהליך תישאר יציבה, נקייה, מדויקת וחזרתית. בקרת זרימת גזים היא אחת מהמערכות האלה, ובכנס הקרוב תנסה החברה להציג אותה לא כרכיב עזר, אלא כחלק מהנדסת התהליך של ייצור שבבים מתקדם.
